【好展會網  電子展專題】 如何發展國產的太陽能和LED生產設備，降低生產成本，是關乎中國綠色節能產業健康發展的重大命題。目前國產太陽能光伏設備在國內用戶中已建立起良好的信譽，得到業界的廣泛認可，越來越多的客戶從國產設備使用中受益。中國光伏設備企業已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力，部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內生產線占據主導地位，管式PECVD、快速燒結爐和進口設備并存但份額在逐步增大，全自動絲網印刷機、自動分撿機、平板式PECVD則基本依賴進口。<br /><br />即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展（上海）的青島華旗科技有限公司就是一家專業的半導體工藝設備及先進材料專用設備研發、制造廠家，致力于為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴散退火（含快速退火工藝）合金、真空燒結等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產線上125mm&#215;125mm 、156mm&#215;156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用，主要特點和優勢如下：<br />◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制；<br />◆閉管式擴散系統，有效降低生產成本，更潔凈，更環保；<br />◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性；<br />◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安全環保；<br />◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；<br />◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能；<br />◆控溫精度好，溫區控溫穩定性好；<br />◆關鍵件全部采用進口件，系統可靠性高，抗干擾性能強。
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